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生产光刻机上市公司有ABM 、上海微电子装备有限公司 、佳能、尼康 、荷兰ASML公司.
1 、ABM
ABM公司成立于1986年，总部位于美国硅谷San Jose 。主要经营光罩对准曝光机（光刻机） ，单独曝光系统,光强仪/探针 。公司的主要市场在美国和亚洲。
2、上海微电子装备有限公司
上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区内 ，邻近国家集成电路产业基地 、国家半导体照明产业基地和国家863信息安全成果产业化（东部）基地等多个国家级基地 。
公司成立于2002年，主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发 、生产、销售与服务 ，公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装 、MEMS 、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域 。
3、佳能
佳能的产品系列共分布于三大领域：个人产品 、办公设备和工业设备 ，主要产品包括照相机及镜头 、数码相机、打印机 、复印机 、传真机、扫描仪 、广播设备 、医疗器材及半导体生产设备等。
4、尼康
尼康作为世界上仅有的三家能够制造商用光刻机的公司，似乎在这个领域不被许多普通人知道 ，许多人只知道尼康的相机做的好 ，却不知道尼康光刻机同样享誉全球 。
5 、荷兰ASML公司
这是一家总部设在荷兰艾恩德霍芬（Veldhoven）的全球最大的半导体设备制造商之一，向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备 。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。
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